序號

號

研究方向名稱

主要研究內容、特色與意義

研究生導師（博導注明）

 1

微納電子器件及其集成技術（ULSI）

該方向主要面向新一代微納電子器件和工藝技術的需求，重點解決新一代微納電子器件中的新材料、新工藝、新器件以及集成技術領域的問題和難點。重點開展新結構半導體器件及其集成技術、半導體器件模型模擬、小尺寸MOS器件可靠性物理及其應用、新型微納電子材料研究等方面的研究。

*王陽元，*張興，*黃如，*康晉鋒，*劉曉彥，*張盛東，*王漪，*傅云義，*廖懷林，于民，孫雷，王金延，劉力鋒，蔡一茂，安霞

 

2

系統(tǒng)集成芯片設計及其設計方法學(SOC)

充分利用北京大學在微電子學與計算機科學技術、電路與系統(tǒng)、信號與信息處理緊密結合的優(yōu)勢，致力發(fā)展中國自主的系統(tǒng)集成芯片設計、數?；旌霞呻娐吩O計、軟硬件協同設計方法學。重點開展面向數?；旌霞呻娐?、SOC設計方法學、專用集成電路設計與開發(fā)、IP開發(fā)、MPW設計驗證的環(huán)境建設等方面的研究；

*王陽元，*張興，*程玉華，*于敦山，*解曉東，*陳中建，*蓋偉新，賈嵩，馮建華，杜剛，何燕冬，王源，魯文高，王陽

 

 3

集成微納系統(tǒng)(MEMS/NEMS)技術

該方向主要研究微機電（MEMS）與納機電（NEMS）器件及系統(tǒng)。集成微納系統(tǒng)集成了微電子技術、力學、機械學、物理學、化學以及生命科學技術，是一門新興的學科和重大經濟增長點。該方向重點研究MEMS/NEMS設計技術、微納制造技術、新型MEMS/NEMS器件、封裝技術、相關處理電路及系統(tǒng)集成技術。研究的器件和系統(tǒng)包括微型慣性器件、光MEMS、RF MEMS、微流控系統(tǒng)、生物MEMS以及新型NEMS器件等

*郝一龍，*張大成，*吳文剛、*李志宏， *金玉豐，*張海霞、*于曉梅、陳兢、張錦文、張威、楊振川、王瑋、高承臣